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電子級氟化銨溶液

執行標準:GB/T 30901-2014

項目

指標

UP級

UP-S級

氟化銨含量 w/%   ≤

40.0±1.0

40.0±1.0

色度/Hazen ≤

10

10

PH(10g/L溶液,25℃ ≤

6.0-7.5

6.0-7.5

氯化物(以Cl計) w/(mg/kg)   ≤

5

3

硝酸鹽(以NO3計) w/(mg/kg)   ≤

5

3

磷酸鹽(以PO4計) w/(mg/kg)   ≤

5

1

硫酸鹽(以SO4計) w/(mg/kg)   ≤

5

3

鋁(Al)w/(μg/kg)  ≤

5

1

砷(As)w/(μg/kg)  ≤

5

1

硼(B)w/(μg/kg) ≤

5

1

鋇(Ba)w/(μg/kg) ≤

5

1

鈣(Ca)w/(μg/kg) ≤

5

1

鎘(Cd)w/(μg/kg) ≤

5

1

鉻(Cr)w/(μg/kg) ≤

5

1

銅(Cu)w/(μg/kg)  ≤

5

1

鐵(Fe)w/(μg/kg) ≤

5

1

鉀(K)w/(μg/kg) ≤

5

1

鋰(Li)w/(μg/kg) ≤

5

1

鎂(Mg)w/(μg/kg) ≤

5

1

錳(Mn)w/(μg/kg) ≤

5

1

鈉(Na)w/(μg/kg) ≤

5

1

鎳(Ni)w/(μg/kg) ≤

5

1

鉛(Pb)w/(μg/kg) ≤

5

1

鈦(Ti)w/(μg/kg) ≤

5

1

銻(Sb)w/(μg/kg) ≤

5

1

錫(Sn)w/(μg/kg) ≤

5

1

鋅(Zn)w/(μg/kg) ≤

5

1

顆粒

(≥0.5μm)/(個/mL) ≤

-

10

(≥0.2μm)/(個/mL) ≤

-

-

 

用途:該產品主要應用于集成電路和超大規模集成電路芯片的清洗、蝕刻等行業 。

 

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